Materialabtrag von einem Substrat durch chemische Reaktion.
Beim nasschemischen Ätzen durch Reaktion eines flüssigen Ätzmittels (Säure, Lauge, Lösungsmittel) mit den Molekülen des Substrats.
Trockenchemisches Ätzen erfolgt im Plasma durch Reaktion Aktiver Spezies (angeregte Atome, Radikale, Ionen) mit den Substratmolekülen. Das Prozessgas muss auf das Substrat abgestimmt sein (selektiver Ätzvorgang), der Ätzvorgang ist ungerichtet (isotrop)
Die entstehenden flüchtigen Ätzprodukte werden abgepumpt.
