KHz-Plasmaanlage

Niederdruck-Plasmaanlage, bei der die Plasmaanregung durch HF-Felder im KHz-Bereich erfolgt. Für technische Zwecke ist die Frequenz 40 KHz freigegeben. Dies ist die niedrigste, in der Plasmatechnik gebräuchliche Frequenz. KHz-Plasmaanlagen sind im Vergleich zu GHz-Anlagen und Mikrowellenanlagen einfach, robust und preisgünstig, aber bei Ätz- und Beschichtungsprozessen ist eine höhere Leistung erforderlich.

Hochfrequenzanregung — Aufbau und Wirkungsweise einer HF-Niederdruck-Plasmaanlage mit kHz- oder MHz-Anregung