Das Prozessgas ist das zur Anregung des Plasmas verwendete Gas oder Gasgemisch. Abhängig von den Eigenschaften des Prozessgases lassen sich sehr unterschiedliche Wirkungen des Plasmas erzielen. Entsprechend kommt eine große Vielzahl von Prozessgasen zum Einsatz.
Die wichtigsten Prozessgase sind: Sauerstoff, Wasserstoff, Tetrafluormethan, Argon, Helium, Schwefelhexafluorid, Luft, Wasser, ...
