Siliziumcarbid

Neben Siliziumdioxid ist Siliziumcarbid SiC die wichtigste Siliziumverbindung. Durch die chemische Ähnlichkeit der Partner Silizium und Kohlenstoff mit jeweils 4 Valenzelektronen kristallisiert die Verbindung zu einer Diamantstruktur mit tetraedischem Kristallgitter. Das Material wird auf Grund seiner großen Härte gerne als Schleifmittel verwendet. Es hat selbst Halbleitereigenschaften, wird aber auf Grund seiner geringen Wärmeausdehnung eher als Substrat für andere Halbleitermaterialien verwendet.

Reaktives Ionenätzen ermöglicht anisotropes Ätzen mit hohen Ätzraten
Charakteristische Farbe des Sauerstoffplasmas