Das Ätzen von Siliziumwafern ist eine wichtige Anwendung der Niederdruck-Plasmatechnik. Wafer können im Batch (Stapel) geätzt werden. Diener electronic führt für diese Anwendung eigens ein Quarzglasboot zur Aufnahme des Stapels.
Plasmaanlagen, die für das Ätzen von Silizium-Wafern optimiert sind, bezeichnet man als Wafer Etcher. Insbesondere verfügt ein Wafer Etcher über einen Rohrreaktor (Barrelreaktor) und im Allgemeinen über eine Mikrowelleneinkopplung.
