3. Wie wirkt Plasma?
Bei der Niederdruck-Plasmatechnik wird Gas im Vakuum durch Energiezufuhr angeregt. Es entstehen energiereiche Ionen und Elektronen sowie andere reaktive Teilchen, die das Plasma bilden. Damit lassen sich Oberflächen wirkungsvoll verändern. Es werden drei Plasmaeffekte unterschieden:
Mikrosandstrahlen: Die Oberfläche wird durch den Ionenbeschuss abgetragen.
Chemische Reaktion: Das ionisierte Gas reagiert chemisch mit der Oberfläche.
UV-Strahlung: Die UV-Strahlung bricht langkettige Kohlenstoffverbindungen auf.
Durch die Variation der Prozessparameter wie Druck, Leistung, Prozesszeit, Gasfluss und -zusammensetzung ändert sich die Wirkungsweise des Plasmas. So lassen sich in einem einzigen Prozessschritt mehrere Effekte erzielen.
Plasma entfernt Trennmittel (auch Silikone und Öle) von der Oberfläche. Diese werden von z. B. Sauerstoff chemisch angegriffen und in flüchtige Verbindungen umgewandelt. Durch den Unterdruck und die oberflächliche Aufheizung verdampfen die Trennmittel bzw. deren Reste zum Teil. Durch die energiereichen Teilchen im Plasma werden die Trennmittelmoleküle in kleinere Molekülfragmente aufgebrochen und lassen sich dadurch absaugen. Außerdem entsteht ein "Mikrostrahleffekt" auf atomarere Ebene. UV-Strahlung kann Trennmittel aufbrechen.
Auf frisch produzierten als auch auf gelagerten Produkten befinden sich meist unsichtbare Ablagerungen wie Fette, Öle, Silicone, Feuchtigkeit, Oxidationsschichten. Um diese Oberflächen fehlerfrei beschichten zu können, müssen diese LABS-frei sein (LABS = LAckBeschichtungsStörende), was durch eine Plasmareinigung erzielt werden kann.