Sistema de plasma Nano usado
Datos técnicos:
Carcasa
An 600 mm, Al 2000 mm, Pr 800 mm
Cámara
Vidrio de cuarzo (UHP), puerta con bisagra
(aprox. ∅ 240 mm, Pr 390 mm)
Volumen de la cámara
aprox. 24 litros
Suministro de gas
2 canales de gas a través de válvulas de aguja
12 canales de gas a través de controlador de flujo másico (MFC)
Generador
1 unidad (2,45 GHz, 0 - 1500 W)
Control
Semiautomático