El sistema de plasma Bell Jar 35 es un sistema para investigación, desarrollado para experimentos científicos. El sistema es apto para evaporación térmica, pulverización catódica, evaporación por haz de electrones, recubrimiento metálico para preparación de muestras para microscopio electrónico de barrido ({i>scanning electron microscope<i}, sem),="" y="" para="" los="" procesos="" clásicos="" con="" plasma.<="" p=""> </i},>
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Equipamiento básico
- Carcasa: aprox. An 560 mm x Al 1640 mm x Pr 620 mm
- Volumen de la cámara: aprox. 35 litros
- Tensión de alimentación: 230 V / 16 A
Suministro de gas
- 3 controladores de flujo másico (MFC)
Cámaras de vacío
- Campana de gas de vidrio de borosilicato
∅ 315 mm x Al 500 mm
Fuente de pulverización catódica
- 1 pulverización catódica de 2" - 3" + obturador
(opcional con chimenea y entrada de gas para procesos reactivos)
Soporte de sustrato
- ∅ 140 mm (opcional giratorio con calentamiento y enfriamiento de sustrato)
- Conmutable como electrodo para tratamiento previo con plasma (limpieza, activación, mordentado)
Control
- Control por PC (Microsoft Windows XPe)
Medición de presión
- Pirani
Generadores
| Frecuencias: | 40 kHz: Potencia 0 - 500 W |
| 13,56 MHz: Potencia 0 - 300 W |
Fuente de alimentación de CC polarizada o unipolar pulsada
Potencia máx. 300 W
Tensión máx. 600 V CC
Los generadores tienen regulación continua de 0 a 100 %
Bombas de vacío
- De diferentes tamaños y diferentes fabricantes (con filtro de carbón activado, si se requiere)
Otras opciones
Juegos de piezas de recambio, manómetros, modelo para gases corrosivos, depósitos de gas, reductores de presión, placa de calentamiento, indicación de temperatura, cámara calefaccionable, jaula de Faraday, accesorios para polimerización con plasma, tintas de prueba, generador de oxígeno, ventilación lenta, evacuación lenta, brida de sujeción de muestras de TEM, mantenimiento/servicio, documentación en el idioma del país, instalación en sitio incl. formación. Más opciones disponibles previa solicitud