Sistemas especiales

Draht/Garn-Beschichtung/Reinigung/Aktivierung mit Plasma

El sistema de plasma Tetra-2-PC rollo-a-rollo está diseñado para recubrir fibras, hilos y alambres con un dispositivo de rollo-a-rollo.

Sistema especial de plasma Tetra-2-PC, rollo-a-rollo

Datos técnicos:

Carcasa:
An 3491 mm, Al 1000 mm, Pr 1278 mm

Cámara:
L 1050 mm, ∅ 90 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 2 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Automatización:
Rollo-a-rollo

El sistema de plasma Tetra-15 está diseñado para la pulverización catódica (técnica de recubrimiento basada en alto vacío) y para el procedimiento de limpieza para la preparación de superficies ultralimpias.
El sistema de plasma Tetra-15 está diseñado para la pulverización catódica (técnica de recubrimiento basada en alto vacío) y para el procedimiento de limpieza para la preparación de superficies ultralimpias.

Sistema especial de plasma Tetra-15-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 1700 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 360 mm, Al 150 mm, Pr 260 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 15 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Kurztaktanlage Tetra-30-LF-PC

Un sistema de ciclo corto se puede integrar bien a una línea de producción existente. Un sistema de ciclo corto completamente automático permite, además, evitar los posibles errores del operador.

Sistema especial de plasma Tetra-30-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 800 mm, Al 600 mm, Pr 500 mm

Cámara:
An 240 mm, Al 150 mm, Pr 240 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 30 litros

Suministro de gas:
1 canal de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Automatización:
El sistema es apto para integrarse en una línea de producción.

Este sistema está disponible también como kit.

El sistema de producción Tetra 100 con sus 100 litros de volumen de cámara, control por PC y puerta automática se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-100-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 2000 mm, Al 2200 mm, Pr 2000 mm

Cámara:
An 700 mm, Al 200 mm, Pr 700 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 100 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Automatización:
El equipo tiene una puerta extraíble

Tetra-120-LF-PC

El sistema de producción Tetra 120 con sus 120 litros de volumen de cámara, control por PC y puerta automática se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-120-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2150 mm, Pr 1000 mm

Cámara:
An 1200 mm, Al 150 mm, Pr 1700 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 120 litros

Suministro de gas:
4 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Automatización:
El equipo tiene una puerta automática

El sistema de producción Tetra 130 con sus 130 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para limpiar y recubrir componentes médicos.

Sistema especial de plasma Tetra-130-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1800 mm, Al 2100 mm, Pr 1300 mm

Cámara:
An 400 mm, Al 400 mm, Pr 810 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 130 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC
(1 de ellos a través de borboteador)
1 canal de gas monómero a través de válvula de 2/2 vías

Generador:
1 unidad (13,56 MHz)
(opcional: 40 kHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Propiedades:
Rango UHV con bomba turbo

El sistema de producción Tetra-140 con sus 140 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado, activación y polimerización con plasma).

Sistema especial de plasma Tetra-140-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2100 mm, Pr 650 mm

Cámara:
An 1200 mm, Al 700 mm, Pr 1500 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 140 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-140 con sus 140 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado, activación y polimerización con plasma).

Sistema especial de plasma Tetra-140-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1000 mm, Al 1800 mm, Pr 1000 mm

Cámara:
An 1000 mm, Al 100 mm, Pr 1400 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 140 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC, dosificación de monómeros líquidos para polimerización con plasma

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-150 con sus 150 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza principalmente en el campo del recubrimiento de tejidos.

Sistema especial de plasma Tetra-150-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1000 mm, Al 2100 mm, Pr 1000 mm

Cámara:
An 400 mm, Al 600 mm, Pr 625 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 150 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Automatización:
Rollo-a-rollo con 400 mm de ancho y 300 mm de diámetro

El sistema de producción Tetra-185 con sus 185 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza principalmente en la fabricación de tarjetas de circuitos impresos.

Sistema especial de plasma Tetra-185-LF-PC Desmearing

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2100 mm, Pr 1000 mm

Cámara:
An 400 mm, Al 665 mm, Pr 700 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 185 litros

Suministro de gas:
4 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Propiedades:

  • Desmearing de diversos materiales (limpieza de pared de perforación)
  • Limpieza de superficies
  • Activación de superficies metálicas
  • 7 ranuras para tratar simultáneamente 7 placas
  • Cortes de hasta 460 x 610 mm
El sistema de producción Tetra-210 con sus 210 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza y recubrimiento).

Sistema especial de plasma Tetra-210-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1560 mm, Al 2350 mm, Pr 1860 mm

Cámara:
An 1000 mm, Al 200 mm, Pr 1400 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 210 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 generador de pulsos
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-240 con sus 240 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-240-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 1700 mm, Pr 3200 mm

Cámara:
An 305 mm, Al 300 mm, Pr 2600 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 240 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-260 con sus 260 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-260-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 2500 mm, Al 2200 mm, Pr 1000 mm

Cámara:
An 650 mm, Al 500 mm, Pr 800 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 260 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
10 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-375 con sus 375 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-375-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2100 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 600 mm, Al 360 mm, Pr 1900 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 375 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-400 con sus 400 litros de volumen de cámara, control por PC y puerta deslizante automática se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-400-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2100 mm, Pr 650 mm

Cámara:
An 915 mm, Al 750 mm, Pr 725 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 400 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Automatización:
El equipo tiene una puerta deslizante automática

El sistema de producción Tetra-420 con sus 420 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación). Este sistema se utiliza, entre otros, para el proceso de desmearing de PCB.

Sistema especial de plasma Tetra-420-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1600 mm, Al 2100 mm, Pr 1200 mm

Cámara:
An 750 mm, Al 800 mm, Pr 750 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 420 litros

Suministro de gas:
4 canales de gas a través de MFC

Generador:
4 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema especial Tetra-500 con sistema rollo-a-rollo, 500 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación, p. ej. de lámimas).

Sistema especial de plasma Tetra-500-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2100 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 1500 mm, Al 1700 mm, Pr 200 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 500 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Alojamiento de piezas:
2 sistemas rollo-a-rollo

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Tetra-575-LF-PC

El sistema especial Tetra-575 con sus 575 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado, activación y recubrimiento).

Sistema especial de plasma Tetra-575-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1150 mm, Al 1900 mm, Pr 1600 mm

Cámara:
An 600 mm, Al 1200 mm, Pr 800 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 575 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Alojamiento de piezas:
22 niveles / portador de productos (variable)

Control:
Control por PC (Windows)

El sistema de producción Tetra-600 con sus 600 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-600-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2200 mm, Pr 1200 mm

Cámara:
An 810 mm, Al 810 mm, Pr 925 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 600 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-600 con sus 600 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación)

Sistema especial de plasma Tetra-600-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2200 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 1000 mm, Al 1000 mm, Pr 600 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 600 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Automatización:
11 niveles / portador de productos

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra 600-LF-PC con sus 600 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza principalmente para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación):

El sistema de producción Tetra-600 con sus 600 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-600-LF-PC versión 2

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1800 mm, Al 1800 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 580 mm, Al 730 mm, Pr 1000 mm
puerta con 2 visores

Volumen de la cámara:
aprox. 600 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad, adaptación automática

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-600 con sus 600 litros de volumen de cámara, control por PC y tambor giratorio se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-600-LF-PC con tambor giratorio versión 1

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2200 mm, Pr 800 mm

Cámara:
∅ 1100 mm, Pr 700 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 600 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
2 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Alojamiento de piezas:
Tambor giratorio (con 4 canastos con 30 litros de contenido c/u)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-600 con sus 600 litros de volumen de cámara, control por PC y tambor giratorio se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-600-LF-PC con tambor giratorio versión 2

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1000 mm, Al 2200 mm, Pr 1800 mm

Cámara:
∅ 1000 mm, Pr 750 mm,
puerta con 2 visores

Volumen de la cámara:
aprox. 600 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
4 unidades (40 kHz c/u), adaptación automática

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra 600-LF-PC con sus 600 litros de volumen de cámara, control por PC y tambor giratorio se utiliza principalmente para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación):

Sistema especial de plasma Tetra-800-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 1800 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 1250 mm, Al 550 mm, Pr 1120 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 800 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-850 con sus 850 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, activación).

Sistema especial de plasma Tetra-850-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1500 mm, Al 2000 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 1300 mm, Al 1800 mm, Pr 400 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 850 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-1200 con sus 1200 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, activación).

Sistema especial de plasma Tetra-1200-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1000 mm, Al 1000 mm, Pr 1800 mm

Cámara:
An 600 mm, Al 1000 mm, Pr 2000 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 1200 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
3 unidades (40 kHz c/u)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-1600 con sus 1600 litros de volumen de cámara se utiliza para el secado al vacío.

Sistema especial de vacío Tetra-1600

Datos técnicos:

Cámara:
An 900 mm, Al 700 mm, Pr 2600 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 1600 litros

El sistema de producción Tetra-2000 con sus 2000 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, activación).

Sistema especial de plasma Tetra-2000-RF-PC

Datos técnicos:

Cámara:
An 1000 mm, Al 2000 mm, Pr 1000 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 2000 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (13,56 MHz)

Alojamiento de piezas:
Hasta 10 portadores de productos

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-2400 con sus 2400 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-2400-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2200 mm, Pr 800 mm

Cámara:
∅ 1100, Pr 2500 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 2400 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
4 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Alojamiento de piezas:
Tambor giratorio (con 16 canastos con 30 litros de contenido c/u)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Tetra-2800-LF-PC

Sistema especial de plasma Tetra-2800-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 1700 mm, Pr 800 mm

Cámara:
∅ 1200 mm, Pr 2500 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 2800 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
1 unidad (40 kHz)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-3000 con sus 3000 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado, activación y esterilización).

Sistema especial de plasma Tetra-3000-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico 1:
An 1200 mm, Al 2100 mm, Pr 600 mm

Armario eléctrico 2:
An 600 mm, Al 2200 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 1200 mm, Al 1700 mm, Pr 1510 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 3000 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
4 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-4400 con sus 4400 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-4400-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1800 mm, Al 1000 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 1350 mm, Pr 1250 mm, Al 2600 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 4.400 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
4 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Propiedades:
Generador de oxígeno
fuente de limpieza con plasma para bombas Roots

El sistema de producción Tetra-5600 con sus 5600 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-5600-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1800 mm, Al 2200 mm, Pr 1800 mm

Cámara:
An 2250 mm, Al 2450 mm, Pr 1000 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 5600 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
6 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Alojamiento de piezas:
Carga por medio de carros rodantes
(opcional: tambor especial)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema especial Tetra-7000 con sistema rollo-a-rollo, 7000 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado, activación y recubrimiento).

Sistema especial de plasma Tetra-7000-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 2400 mm, Al 2300 mm, Pr 1000 mm

Cámara:
An 2400 mm, Al 2100 mm, Pr 1400 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 7000 litros

Suministro de gas:
3 canales de gas a través de MFC

Generador:
4 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-7300 con sus 7300 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-7300-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 600 mm, Al 2100 mm, Pr 1200 mm

Cámara:
An 1400 mm, Al 2100 mm, Pr 2500 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 7300 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
3 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-7500 con sus 7500 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza para la producción en serie (limpieza, mordentado y activación).

Sistema especial de plasma Tetra-7500-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 3000 mm, Al 2000 mm, Pr 1000 mm

Cámara:
An 1500 mm, Pr 2000 mm, Al 2500 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 7500 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
6 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Sistema especial de plasma Tetra-8000-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 2000 mm, Al 1800 mm, Pr 1000 mm

Cámara:
An 1700 mm, Pr 2800 mm, Al 1700 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 8000 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
4 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial

El sistema de producción Tetra-12600 con sus 12.600 litros de volumen de cámara y control por PC se utiliza principalmente para la producción en serie (limpieza, activación).

Sistema especial de plasma Tetra-12 600-LF-PC

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 1200 mm, Al 2200 mm, Pr 800 mm

Cámara:
An 2400 mm, Al 2100 mm, Pr 2500 mm

Volumen de la cámara:
aprox. 12 600 litros

Suministro de gas:
2 canales de gas a través de MFC

Generador:
6 unidades (40 kHz c/u)
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Alojamiento de piezas:
Carga por medio de carros rodantes

Control:
Control por PC (Windows) con bus de campo industrial