Freigegebene ISM-Frequenz, die als Arbeitsfrequenz von Plasma-Quellen zum Einsatz kommt. Das resultierende Plasma wird aufgrund der Frequenz als LF-Plasma bezeichnet.
40 kHz
Freigegebene ISM-Frequenz, die als Arbeitsfrequenz von Plasma-Quellen zum Einsatz kommt. Das resultierende Plasma wird aufgrund der Frequenz als LF-Plasma bezeichnet.