Prozess, bei dem ein Materialabtrag von einer Oberfläche erfolgt, im Allgemeinen durch chemische Reaktion. Es werden aber auch physikalische Prozesse als Ätzprozesse bezeichnet (physikalisches Ätzen, Ionenätzen). Ätzprozesse sind insbesondere:
- Reinigung von Oberflächen durch Abtragen von Oxid- oder Passivschichten
- Oberflächenstrukturierung beispielsweise aus optischen Gründen (Mattieren) oder um die Verklebbarkeit durch Oberflächenvergrößerung zu verbessern
- Erzeugung geometrischer Strukturen, indem Teile einer Oberfläche durch eine Maske abgedeckt werden und der Ätzprozess nur an den frei zugänglichen Bereichen wirksam ist.
Ätzprozesse werden entweder durch Tauchen in sauren oder alkalischen Lösungen oder durch Plasma-Behandlung ("Plasma-Ätzen") in einem geeigneten Prozessgas durchgeführt. Beispiele für die Anwendung von Plasma-Ätzprozessen sind Silicium, SiO2 und Si4N3 in der Mikroelektronik, Metalle mit Oberflächenoxid sowie schlecht haftende Kunststoffe wie PTFE.
