Plasma, das einen hohen Anteil an Kationen und an freien Elektronen aufweist. Das ist grundsätzlich der Normalfall bei einem Niederdruckplasma mit Hochfrequenzanregung.
Plasma, das einen hohen Anteil an Kationen und an freien Elektronen aufweist. Das ist grundsätzlich der Normalfall bei einem Niederdruckplasma mit Hochfrequenzanregung.