HMDSO (Hexamethyldisiloxan) ist eine häufig verwendete Ausgangssubstanz zur Herstellung von beständigen Antihaft- oder Schutzschichten mittels Plasma-Polymerisation. HMDSO-Beschichtung ist ein Verfahren zur Erzielung hydrophober Eigenschaften.
HDMSO ist die kürzeste vollständige Moleküleinheit der Gruppe der Poly[Dimethylsiloxane] (PDMS). HMDSO besteht nur aus den beiden Trimethylsiloxan-Endgruppen ohne die Dimethylsiloxane-Monomereinheit, die sich bei PDMS beliebig oft wiederholt.