Mit Hochfrequenz bezeichnet man in der Elektronik und der Nachrichtentechnik hohe Frequenzen des elektrischen Stroms und elektrischer und/oder magnetischer Felder. Hochfrequente Wechselfelder werden zur Anregung von Niederdruckplasma eingesetzt. Hochspannung ist nicht erforderlich. Bei der Hochfrequenzanregung kommt es zu keinem Stromfluss, daher auch zu geringer Verlustleistung und vor allem zu geringer Temperaturerhöhung. Dadurch können im Niederdruckplasma mit Hochfrequenzanregung auch Substrate mit geringer Wärmebeständigkeit, vor allem praktisch alle Kunststoffe behandelt werden.
In der Plasmatechnik können nur freigegebene ISM-Frequenzen im kHz-, MHz- und GHz-Bereich verwendet werden.
Siehe dazu auch:
⇒Mikrowelleneinkopplung
⇒Magnetron
⇒Barrel-Reaktor
⇒Parallelplattenreaktor
⇒Elektrode
⇒Generator
Hochfrequenzanregung ist neben der Gasentladung die zweite grundsätzliche Technologie zur Erzeugung eines technischen Plasmas. Dabei hat die Hochfrequenzanregung den besonderen Vorteil, dass es nicht zu einem Stromfluss im Plasma und deshalb auch nicht zu hohen Temperaturen und hoher Verlustleistung kommt. Die Plasmatechnik verwendet Anregungsfrequenzen im kHz-, MHz- und GHz-Bereich.
