Hochreine Oberflächen enthalten nahezu keine Fremdsubstanzen. Nur das Substrat selbst ist an der Oberfläche. Durch Plasmareinigung lassen sich Verunreinigungen in atomarem Maßstab entfernen und dadurch hochreine Oberflächen praktisch realisieren.

Insbesondere bei Implantaten für die Medizin und Zahnmedizin sind hochreine Oberflächen ohne Rückstände von organischer Substanz von größter Bedeutung um Langfristschäden durch Entzündungen zu vermeiden