Generador de plasma con plasma
Para recubrir con el procedimiento Plasmajet (plasma atmosférico) se aportan monómeros gaseosos mediante un gas portador directamente en el chorro de plasma. Así, por medio del plasma, el monómero se enfoca en la superficie y se polimeriza.
El plasma atmosférico es especialmente adecuado para la generación de capas hidrófilas, mejoradoras de la adherencia y anticorrosivas.
Como monómeros se utilizan sustancias con contenido de silicio y de carbono. P. ej. diferentes acrilatos y monómeros de uso corriente con contenido de silicio del tipo de HMDSO.
Por su alta toxicidad, no se deben usar gases ni monómeros halogenados con plasma atmosférico (F2, CL2, Br2, I).
Comúnmente se utilizan los siguientes gases:
El grosor de las capas es de unos cientos de nanómetros. Para la medición de estas capas tan delgadas se puede utilizar como método confiable el llamado perfilómetro (p. ej. Dektak).
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