Pour qu’un système plasma fonctionne, il a besoin d'un générateur. Il n’existe pas de fréquence universelle appropriée à tous les types de traitement plasma, la fréquence doit être définie au cas par cas suivant l’effet désiré. Dans sa gamme de produits, Diener propose, depuis à présent de nombreuses années, des générateurs plasmas dont la fréquence est comprise entre 50 kHz et 2,45 GHz. Des générateurs 13,56 MHz dans deux versions 100 et 300 watts, ont été spécialement développés et produits par nos soins.
Avantages des générateurs 13,56 MHz:
- RIE (‘Reative Ion Etching’ = Gravure Ionique Réactive) possible
- Homogénéité de traitement meilleur que celle obtenue avec un plasma Microondes 2,45 GHz
- Vitesse de gravure plus élevée, pour un puissance équivalente, que celle obtenue avec basse fréquence : 40 kHz
- Traitement en vrac, dans tonneaux métalliques rotatifs aisé
- Des systèmes couplés Électrodes / Porte substrat peuvent être fabriqués, mais ‘l'équilibrage’ des électrodes est complexe
- Adapté au traitement ‘front-end’ et ‘back-end’ pour les applications semi-conducteurs
- Taux de déposition élevé pour les procédés de plasma polymérisation
Les applications principales des plasmas RF, utilisant les deux puissances citées (100 et 300 W) sont l'activation, le nettoyage, la gravure, semi-conducteurs 'front-end' et 'back-end' et plasma polymérisation. L’adaptation d'impédance peut être réalisée soit manuellement (‘matching’ manuel) ou automatiquement (‘matching’ automatique), elle est nécessaire dans tous les cas, c’est pourquoi chaque système HF (RF : 13,56 MHz) est constitué d'un générateur et d’une boite d’accord : la ‘match box’. Lorsque l’accord d’impédance (le ‘matching’) est réalisé manuellement, celui-ci doit être effectué au début de chaque processus plasma. il doit être vérifié et ajusté si nécessaire de façon sporadique au cours du processus; la capacité des condensateurs doit être ajustée et réajustée de façon à suivre les éventuelles évolutions des caractéristiques du plasma. En outre, il est également possible d'afficher la puissance entrante et réfléchie, arrêt de sécurité via l'interrupteur de porte et l'interrupteur de sécurité de niveau de vide, la fréquence est stabilisée par quartz pour se conformer à la norme EN 55 011 et une interface de PC. Cliquez ici pour en savoir plus sur les générateurs individuels:
Générateur de 13,56 MHz - 100 watts
Générateur de 13,56 MHz - 300 watts
Boite d'accord automatique ( ‘match box’ auto ) pour 13,56 MHz
Générateur LFG - 500 W (80 kHz)
Générateur LFG - 1200 W (80 kHz)
Générateur LFG - 3000 W (80 kHz)
Générateur LFG - 5000 W (80 kHz)
Générateur MW - 850 W (2,45 GHz)