Générateurs RF
Domaines d‘application:
- Plasma basse pression
- Chauffage RF
Générateur RF 13.56 MHz, 100 W
- Puissance RF nominale en sortie : 100 watts
- Fréquence: 13.560 MHz ± 100 ppm
- Puissance RF de sortie ajustable de : 0 à 100 watts, en continue
- Générateur peut être pulsé avec une durée minimale de pulse: 5µs
- Impédance: 50 Ohms
- Stabilité RF: inférieure à 5% (dépend du système d’accord utilisé)
- Système de protection en cas de mauvais accord d’impédance (depuis circuit ouvert jusqu’au court-circuit)
- Décalage d’accord sans réduction de puissance: ROS = 1.2 (Rapport d’Onde Stationnaire)
- RF commutable en pleine charge
- Alimentation secteur 88 - 264 V AC/47 - 63 Hz (en liaison avec alimentation externe)
- Consommation: max. 220 watts
- Contrôle à distance : - RF On/Off - Paramètres de performance RF (0...10 V = 0 ... 100 %)
- Sortie RF: Prise N
- Alimentation: Module d’alimentation externe
- Poids: approx. 6.5 kg (générateur) plus 1.0 kg (adaptateur)
N’hésitez pas à nous contacter pour des conseils techniques sur ce système.
Brochure Générateur RF 13.56 MHz