Système de location NANO – Rapidement Disponible
Le petit système Nano, avec sa chambre de 5 litres et un contrôle semi-automatique, est principalement utilisé dans les domaines suivants :
- Technologie des semi-conducteurs
- Microtechnologies
- Electronique
- Technologie médicale
- Industrie Plastique
- Technologies des élastomères
- Départements de Recherche et Développement
Brochure NANO
Données techniques:
Encombrement armoire: Larg. 580 mm, Haut. 650 mm, Prof. 600 mm
Chambre: ∅ 267 mm, L 420 mm
Volume de chambre: env. 24 litres
Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres à flotteur à vanne pointeau.
Générateur: 40 kHz/ 0 à 300 W, continu(En option: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Pompe à vide: Leybold, type D 8 B (8 m3/h)
Chargement: 1 porte substrat
Contrôle: Semi-automatique, durée de procédé via timer