Système de location TETRA 100 LF-PC - Disponible rapidement
Le système de production Tetra 100 LF-PC, avec sa chambre de 100 litres et un contrôle par PC, est utilisé en production dans les domaines du Nettoyage, de l'Activation et de l'Attaque (Gravure - 'Etching') des surfaces.
Brochure TETRA
Données techniques:
Encombrement armoire: Larg. 600 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 800 mm
Chambre: Larg. 400 mm, Haut. 400 mm, Prof. 625 mm
Volume de chambre: env. 100 litres
Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques ('MFCs: Mass Flow Controllers').
Générateur: 40 kHz/ 0 à 2500 W(En option: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Pompe à vide: Leybold, type D 40 B (40 m3/h)
Chargement: jusqu'à 10 portes substrats (10 niveaux)(En option: Tonneau rotatif)
Contrôle: Par PC sous Windows