Systèmes Spéciaux

Nous construisons des systèmes plasma dédiés vos besoins. Les systèmes sont conçus selon les deux critères principaux suivants:

La cadence de production visée (Quantité de pièces à traiter de façon journalière)
La taille des pièces à traiter

Brochure Systèmes spéciaux

Systems Spéciaux:

Draht/Garn-Beschichtung/Reinigung/Aktivierung mit Plasma

Le système ' Roll to Roll' Tetra 2-PC est conçu pour le revêtement de fibres, bandes et fils, en utilisant un dispositif de rouleau à rouleau ('roll-to-roll').

Système plasma spécial Tetra-2-PC, roll-to-roll

Données techniques:

Encombrement: Largeur 3491 mm, Hauteur 1000 mm, Profondeur 1278 mm Dimensions de la chambre: Long. 1050 mm, ∅ 90 mm Volume de la chambre: Env. 2 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel Automatisation: Traitement au passage (en continu), type ‘Roll-to-Roll’ soit de rouleau à rouleau.

Le système plasma Tetra 15 est conçu pour le 'Sputtering' (technologie de revêtement sous vie poussé), ainsi que dans des procédés de purification pour la préparation de surfaces de haute pureté.

Système plasma spécial Tetra 15 LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 1700 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 360 mm, Haut. 150 mm, Prof. 260 mm

Volume de la chambre: Env. 15 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel.

Kurztaktanlage Tetra-30-LF-PC

Un système à cycle court peut être facilement intégré dans une ligne de production existante. Un système complètement automatisé exclura par là même, la possibilité d'erreur des opérateurs.

Système plasma spécial Tetra 30-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 800 mm, Haut. 600 mm, Prof. 500 mm Dimensions chambre: Larg. 240 mm, Haut. 150 mm, Prof. 240 mm Volume de la chambre: Env. 30 litres Alimentation en gaz: 1 ligne de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Automation: Ce système peut être intégré dans une ligne de production.

Ce système est également disponible sous forme de kit.

Le système de production Tetra 100, avec sa chambre de 100 litres, son contrôle par PC et sa porte automatique est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Gravure 'Etching' et Activation)

Système plasma spécial Tetra 100-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 2000 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 2000 mm Dimensions chambre: Larg. 700 mm, Haut. 200 mm, Prof. 700 mm Volume de la chambre: Env. 100 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Automation: Ce système dispose d’une « porte tiroir ».

Tetra-120-LF-PC

Le système de production Tetra 120, avec sa chambre de 120 litres, son contrôle par PC et sa porte automatique est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Gravure 'Etching' et Activation)

Système plasma spécial Tetra 120-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2150 mm, Prof. 1000 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1200 mm, Haut. 150 mm, Prof. 1700 mm Volume de la chambre: Env. 120 litres Alimentation en gaz: 4 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Automation: Ce système dispose d’une porte automatique.

Le système de production Tetra 130, avec sa chambre de 130 litres, son contrôle par PC, est utilisée pour le nettoyage et le revêtement de dispositifs médicaux.

Système plasma spécial Tetra 130-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1800 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 1300 mm Dimensions de la chambre: Larg. 400 mm, Haut. 400 mm, Prof. 810 mm Volume de la chambre: Env. 130 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) (dont 1 via bulleur) 1 ligne de gaz monomère avec vanne 2x2 voies. Générateurs: 2 unités à 13,56 MHz (en option: 40 kHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Propriétés spécifique: Domaine de l'Ultravide (‘UHV’) atteint au moyen d’une pompe turbo-moléculaire.

Le système de production Tetra 140, avec sa chambre de 140 litres, son contrôle par PC et sa porte automatique est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Gravure 'Etching', Activation et plasma-polymérisation)

Système plasma spécial Tetra 140-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 650 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1200 mm, Haut. 700 mm, Prof. 1500 mm Volume de la chambre: Env. 140 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’)

Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Système plasma spécial Tetra 140-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1000 mm, Haut. 1800 mm, Prof. 1000 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1000 mm, Haut. 100 mm, Prof. 1400 mm Volume de la chambre: Env. 140 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 150, avec sa chambre de 150 litres, son contrôle par PC est utilisé principalement dans l'industrie textile.

Système plasma spécial Tetra 150-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1000 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 1000 mm Dimensions de la chambre: Larg. 400 mm, Haut. 600 mm, Prof. 625 mm Volume de la chambre: Env. 150 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel Automation: Traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau) pour bandes de 400 mm de largeur et rouleau de 300 mm de diamètre.

Le système de production Tetra 185, avec sa chambre de 185 litres, son contrôle par PC est principalement utilisé pour le traitement des circuits imprimés ('PCB')

Système plasma spécial Tetra 185-LF-PC ‘desmearing’

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 1000 mm Dimensions de la chambre: Larg. 400 mm, Haut. 665 mm, Prof. 700 mm Volume de la chambre: Env. 185 litres Alimentation en gaz: 4 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel Propriétés:

‘Desmearing’* de divers matériaux.
Nettoyage des surface
Activation des surfaces métalliques
7 baies permettent le traitement simultané de 7 plaques.
Traitement en production de plaques avant découpe de 460 x 610 mm

* ‘Desmearing’ : terme spécifique désignant le micro-ébavurage de la périphérie de trous effectués conventionnellement ou par LASER (résidus carbonisés).

Le système de production Tetra 210, avec sa chambre de 210 litres, son contrôle par PC est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Revêtement)

Système plasma spécial Tetra 210-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1560 mm, Haut. 2350 mm, Prof. 1860 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1000 mm, Haut. 200 mm, Prof. 1400 mm Volume de la chambre: Env. 210 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur:1 unité génératrice de pulses 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 240, avec sa chambre de 240 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching')

Système plasma spécial Tetra 240-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 1700 mm, Prof. 3200 mm Dimensions de la chambre: Larg. 305 mm, Haut. 300 mm, Prof. 2600 mm Volume de la chambre: Env. 240 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur:1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 260, avec sa chambre de 260 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching')

Système plasma spécial Tetra 260-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 2500 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 1000 mm Dimensions de la chambre: Larg. 650 mm, Haut. 500 mm, Prof. 800 mm Volume de la chambre: Env. 260 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 10 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 375, avec sa chambre de 375 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching')

Système plasma spécial Tetra 375-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 600 mm, Haut. 360 mm, Prof. 1900 mm Volume de la chambre: Env. 375 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur:2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 400, avec sa chambre de 400 litres, son contrôle par PC et sa automatique coulissante, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching')

Système plasma spécial Tetra 400-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 650 mm Dimensions de la chambre: Larg. 915 mm, Haut. 750 mm, Prof. 725 mm Volume de la chambre: Env. 400 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Automatisation Le système dispose d’une porte glissante automatique

Le système de production Tetra 420, avec sa chambre de 420 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching'). Ce système est entre autre utilisé pour le 'desmearing' des circuits imprimés.

Système plasma spécial Tetra 420-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1600 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 1200 mm Dimensions de la chambre: Larg. 750 mm, Haut. 800 mm, Prof. 750 mm Volume de la chambre: Env. 420 litres Alimentation en gaz: 4 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 520, avec sa chambre de 520 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Gravure 'Etching' et Activation par exemple de films)

Système plasma spécial Tetra 500-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1500 mm, Haut. 1700 mm, Prof. 200 mm Volume de la chambre: Env. 500 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: 2 systèmes de traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau).

Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Tetra-575-LF-PC

Le système de production Tetra 575, avec sa chambre de 575 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching')

Système plasma spécial Tetra 575-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1150 mm, Haut. 1900 mm, Prof. 1600 mm Dimensions de la chambre: Larg. 600 mm, Haut. 1200 mm, Prof. 800 mm Volume de la chambre: Env. 575 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unités à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat (modulable)

Contrôle - Asservissement:Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 600, avec sa chambre de 600 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching')

Système plasma spécial Tetra 600-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 1200 mm Dimensions de la chambre: Larg. 810 mm, Haut. 810 mm, Prof. 925 mm Volume de la chambre: Env. 600 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle - Asservissement:Par PC (Windows) avec bus industriel

Système plasma spécial Tetra 600-LF-PC - Version 1

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1000 mm, Haut. 1000 mm, Prof. 600 mm Volume de la chambre: Env. 600 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel Les systèmes Tetra 600 LF-PC, avec leur 600 litres de volume de chambre et leur contrôle par PC, sont utilisées à des fins de production en série (Nettoyage, Activation et Gravure-Attaque ‘Etching’)

Système plasma spécial Tetra 600-LF-PC Version 2

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1800 mm, Haut. 1800 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 580 mm, Haut. 730 mm, Prof. 1000 mm Porte munie de 2 hublots d’inspection Volume de la chambre: Env. 600 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité avec système d’accord d’impédance automatique Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 600, avec sa chambre de 600 litres, son système tonneau rotatif et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching')

Système plasma spécial Tetra 600-LF-PC Avec tonneau rotatif Version 1

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: ∅ 1100 mm, Haut. Prof. 700 mm Volume de la chambre: Env. 600 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: Tonneau rotatif (avec 4 paniers d’un volume de chacun 30 litres) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Système plasma spécial Tetra 600-LF-PC Avec tonneau rotatif Version 2

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1000 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 1800 mm Dimensions de la chambre: ∅ 1100 mm, Haut. Prof. 700 mm Porte munie de 2 hublots d’inspection Volume de la chambre: Env. 600 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: Tonneau rotatif (avec 4 paniers d’un volume de chacun 30 litres) Contrôle - Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel Les systèmes Tetra 600 LF-PF, avec leur 600 litres de volume de chambre, leur contrôle par PC et leur tonneau rotatif, sont utilisées à des fins de production en série (Nettoyage, Activation et Gravure-Attaque ‘Etching’)

Système plasma spécial Tetra 800-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 1800 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1250 mm, Haut. 550 mm, Prof. 1120 mm Volume de la chambre: Env. 800 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité à 40 kHz Contrôle - Asservissement: Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 850, avec sa chambre de 850 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage et Activation)

Système plasma spécial Tetra 850-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1500 mm, Haut. 2000 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1300 mm, Haut. 1800 mm, Prof. 400 mm Volume de la chambre: Env. 850 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité à 40 kHz Contrôle - Asservissement: Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 1200, avec sa chambre de 1200 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage et Activation)

Système plasma spécial Tetra 1200-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1000 mm, Haut. 1000 mm, Prof. 1800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 600 mm, Haut. 1000 mm, Prof. 2000 mm Volume de la chambre: Env. 1200 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 3 unités chacune à 40 kHz Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 1600, avec sa chambre de 1600 litres est utilisé pour le séchage sous vide.

Système sous vide spécial Tetra 1600

Données techniques:

Dimensions de la chambre: Larg. 900 mm, Haut. 700 mm, Prof. 2600 mm Volume de la chambre: Env. 1600 litres

Le système de production Tetra 2000, avec sa chambre de 2000 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage et Activation)

Système plasma spécial Tetra 2000-RF-PC

Données techniques:

Dimensions de la chambre: Larg. 1000 mm, Haut. 2000 mm, Prof. 1000 mm Volume de la chambre: Env. 2000 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 1 unité à 13.56 MHz Portes substrats: Plus de 10 portes substrats Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 2400, avec sa chambre de 2400 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Etching' Gravure et Activation)

Système plasma spécial Tetra 2400-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: ∅ 1100, Prof. 2500 mm Volume de la chambre: Env. 2400 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Portes substrats: Tonneau rotatif (comprenant 16 paniers d’un volume de 30 litres chacun) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Tetra-2800-LF-PC

Système plasma spécial Tetra 2800-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 600 mm, Haut. 1700 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: ∅ 1200, Prof. 2500 mm Volume de la chambre: Env. 2800 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 3000, avec sa chambre de 3000 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Etching' gravure, Activation et Stérilisation)

Système plasma spécial Tetra 3000-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique 1: Larg. 1200 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 600 mm Armoire électrique 2: Larg. 600 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1200 mm, Haut. 1700 mm, Prof. 1510 mm Volume de la chambre: Env. 3000 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateur: 4 unité chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 4400, avec sa chambre de 4400 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Etching' gravure, et Activation)

Système plasma spécial Tetra 4400-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1800 mm, Haut. 1000 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1350 mm, Haut. 2600 mm, Prof. 1250 mm Volume de la chambre: Env. 4400 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel Spécificités : Générateur d’Oxygène Système de nettoyage plasma pour les pompes ‘roots'

Le système de production Tetra 5600, avec sa chambre de 5600 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Etching' gravure, et Activation)

Système plasma spécial Tetra 5600-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 1800 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 1800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 2250 mm, Haut. 2450 mm, Prof. 1000 mm Volume de la chambre: Env. 5600 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: Chargement sur un chariot monté sur rails (En option : Tonneau spécial) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 7000, avec sa chambre de 7000 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Etching' gravure, et Activation)

Système plasma spécial Tetra 7000-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande): Larg. 2400 mm, Haut. 2300 mm, Prof. 1000 mm Dimensions de la chambre: Larg. 2400 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 1400 mm Volume de la chambre: Env. 7000 litres Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 7300, avec sa chambre de 73400 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Etching' gravure, et Activation)

Système plasma spécial Tetra 7300-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande):Larg. 600 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 1200 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1400 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 2500 mm Volume de la chambre: Env. 7300 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 3 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 7500, avec sa chambre de 7500 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage, 'Etching' gravure, et Activation)

Système plasma spécial Tetra 7500-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande):Larg. 3000 mm, Haut. 2000 mm, Prof. 1000 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1500 mm, Haut. 2500 mm, Prof. 2000 mm Volume de la chambre: Env. 7500 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Système plasma spécial Tetra 8000-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande):Larg. 2000 mm, Haut. 1800 mm, Prof. 1000 mm Dimensions de la chambre: Larg. 1700 mm, Haut. 2800 mm, Prof. 1700 mm Volume de la chambre: Env. 8000 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Générateurs: 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel

Le système de production Tetra 12600, avec sa chambre de 12600 litres et son contrôle par PC, est utilisé pour une production en série (Nettoyage et Activation)

Système plasma spécial Tetra 12 600-LF-PC

Données techniques:

Armoire électrique (avec commande):Larg. 1200 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 800 mm Dimensions de la chambre: Larg. 2400 mm, Haut. 2100 mm, Prof. 2500 mm Volume de la chambre: Env. 12’600 litres Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’) Porte substrat: Chargement sur un chariot sur rails Générateurs: 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle – Asservissement : Par PC (Windows) avec bus industriel