Yocto III

Le système Yocto III est principalement utilisé pour les applications suivantes:

• Activation
• Nettoyage

Appelez nous nous serons ravi de vous renseigner. Téléphone: +49 (0) 74 58 - 999 31-0

Équipement basique

• Ppuissance d'alimentation: 230 V / 50 - 60 Hz

Alimentation en Gaz

• Un gaz de procédé filtré
• Flux passant par une valve (non ajustable)
• Ventilation avec filtre

Chambre à vide

• Verre Borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle (Dim. approx. ∅ 50 mm, L 150 mm)

Électrodes

• Une paire d'électrodes situées à l'extérieur de la chambre plasma

Contrôle

• Générateur pour le plasma
• Interrupteur à 2 niveaux
• Bouton marche
• Interrupteur d'Alimentation électrique

Générateur 

• Fréquence: 100 kHz
• Puissance: 0 - 30 W

 Vacuum Pump

• Pompe sèche (sans huile)
• Intégrée dans le système
• Capacité de pompage: 0,75 m³/h