ZEPTO 2.6-litres, UNITE PLASMA DE LABORATOIRE ‘LOW COST’, disponible avec système de contrôle manuel, PC ou PCCE, est principalement utilisée dans les domaines suivants:
- Production en petites séries
- Application analytiques (MEB, MET)
- Technologie médicale
- Stérilisation
- Départements de recherche et développement
- Domaine Archéologique
- Industrie Textile
- Industrie Plastique.
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Brochure ZEPTO
Equipement de base
- La taille de l’équipement varie en fonction des composants / options choisies
- Les volumes de chambre 1.7 - 2.6 litres, selon la version.
- Alimentation: 230 V
Alimentation en gaz
- Débitmètres à flotteur à vanne pointeau
- Débitmètres massiques (Mass Flow Controlers)
Chambre à vide
- Tube Quartz (UHP) accès par couvercle(Env. 105 mm ∅, L 200 mm ou 300 mm)
- Tube Borosilicate (UHP) Accès par couvercle(Env. 105 mm ∅, L 200 mm ou 300 mm L)
Portes substrats
- Support de pièce pour le traitement: plaque d'aluminium, plaque acier inoxydable, verre borosilicate, quartz
Électrodes
- Simple ou sur plusieurs niveaux
Contrôle
- Manuel
- par PCCE (Microsoft Windows CE)
- par PC (Microsoft Windows POS Prêt 2009)
Mesure de pression
- Sonde de pression de type Pirani
Chronomètre
- Digital
Générateurs
Fréquences:
- 40 kHz: Puissance de 0 à 100 W
- 13,56 MHz: Puissance 0 à 50 W
Les pompes à vide
- Plusieurs tailles et différents fabricants possibles (sur demande avec filtre à charbon actif)
Plus d'options
Pièces de rechanges, Jauge de pression, Options associées à la version "gaz corrosifs", bouteilles de gaz, Détendeur, Cage de Faraday, Accessoires pour plasma polymérisation, Encres de test, Générateur d'oxygène, Ventilation progressive, Pompage progressif, Contrats d’entretien/Services, Documentation fournie dans la langue du pays, Installation sur site incluant la formation. D'autres options sont disponibles sur demande.