Fréquence radio internationale réservée aux applications industrielles (fréquence ISM), qui est utilisée pour générer des plasmas sous vide. En conséquence de cette fréquence, le plasma résultant est désigné par "plasma RF" (RF: Radio Fréquence).
Fréquence radio internationale réservée aux applications industrielles (fréquence ISM), qui est utilisée pour générer des plasmas sous vide. En conséquence de cette fréquence, le plasma résultant est désigné par "plasma RF" (RF: Radio Fréquence).
