Bande Radio Fréquence ISM : réservée internationalement à des applications industrielles. Cette bande est utilisée pour des générateurs plasma industriels ainsi que pour les fours micro-ondes. Le plasma résultant est désigné par « plasma micro-ondes » suivant la longueur d’onde de la radiation. Le plasma micro-ondes n’est pas généré par des électrodes comme c’est usuellement le cas pour les plasmas LF et RF, mais par un magnétron. Les magnétrons sont toujours installés en dehors du plasma. Une fenêtre de quartz permet d’irradier la chambre plasma.