Élimination du matériau de surface d'un solide, c'est en particulier l'effet de la gravure plasma (' plasma etching').
Divers procédés plasmas tels que gravure chimique 'Chemical Etching', décapage Ionique 'Ion Etching', la Gravure Ionique Réactive ' RIE: Reactive Ion Etching', ou le micro-sablage éliminent les molécules ou les couches moléculaires de surface de substrat.
