L’anisotropie désigne la variation d'un caractère, d'une propriété, d'un comportement suivant la direction considérée. C'est l'opposé de l'Isotropie qui désigne des caractères, des propriétés, des comportements similaires quelle que soit la direction considérée.
Un matériau présente des caractéristiques anisotropes, si celles-ci sont différentes suivant la direction, par exemple sa rigidité ou sa conductivité électrique. Des matériaux présentant des caractéristiques anisotropes sont par exemple le bois ou les Matériaux Composites lesquels présentent une tenue mécanique beaucoup plus importante dans la direction des fibres qu'ils contiennent.
Les traitements plasmas peuvent avoir un effet (effet = direction d'attaque) Isotrope ou Anisotrope. En particulier, une attaque anisotrope est désirée lors de la gravure 'Etching' de microstructures, c-à-d une vitesse d'attaque très différente suivant la direction considérée.
L'attaque 'Etching' plasma Anisotrope est obtenue par les méthodes de gravure essentiellement physiques telles que la Gravure Ionique 'Ion Etching', Gravure Ionique Réactive 'Reactive Ion Etching (RIE)', "Micro-sablage" (plasma à base de gaz rare).