L'argon est un gaz inerte, qui se place en troisième place en terme de quantité sur terre. Environ 1% de l’atmosphère totale est de l'Argon. Il ne réagit pas avec les autres éléments chimiques.
L'argon est fréquemment utilisé comme gaz de procédé par les traitements plasmas, lequel ne réagit pas chimiquement avec les substrats mais il est cependant capable de Nettoyer et Graver (ion etching IE) par effet physique (micro sablage) et peut générer des radicaux en surface des polymères.
