Élimination de matériaux organiques, tels que les polymères par plasma ('etching'). Le Plasma peut décomposer les polymères en radicaux, qui réagissant abec les espcèes actives du plasma vont former des molécules organique à chaines courtes pouvant passer à l'état gazeux dans des conditions de basse pression. Ces molécules sont éliminées par l'aspiration produite par la Pompe à vide.
L'application majeur est l'élimination du masque de photorésiste en microelectronique (voire aussi ⇒ stéréo photolithographie).
Une autre application est l'analyse chimique. D'un mélange de substances organiques et minérales, les substances organiques peuvent être extraites par 'ashing'. La substance minérale résiduelle peut être alors faire l'objet d'analyses chimiques.