Pour le revêtement et la déposition de couches fonctionnelles sur des substrats, diverses méthodes sont envisageables. Les revêtements plasma sont effectués par des systèmes optimisés suivant des applications spécifiques. Cependant, quelques systèmes basse pression peuvent être utilisés pour plusieurs procédés de revêtements tels que la pulvérisation 'sputtering', la PECVD ou PACVD.
Pour le revêtement des plastiques, des systèmes fonctionnant à basse température sont utilisés.