CCRF= Capacitively Coupled Radio Frequency Plasma. Il s'agit d'un Plasma obtenu par un système capacitif, sous l'action d'un Champ électrique, fonctionnant à fréquence RF (13,56 MHz).
CCRF= Capacitively Coupled Radio Frequency Plasma. Il s'agit d'un Plasma obtenu par un système capacitif, sous l'action d'un Champ électrique, fonctionnant à fréquence RF (13,56 MHz).