La dépolymérisation est le processus inverse de la polymérisation durant laquelle les monomères se joignent entre eux pour former des molécules plus longues, les polymères. Le dépolymérisation est due à une température élevée ou à un rayonnement.
Les rayonnements énergétiques provoquent la scission des chaînes polymériques. La composante Ultra-Violette de la radiation solaire provoque la dépolymérisation de nombreux polymères.
Le même processus a lieu dans un plasma qui génère des rayonnements UV intenses et de haute énergie. Ces radiations 'cracks' les polymères, principalement des hydrocarbonés. Ce processus ne se traduit pas immédiatement par la formation de monomères saturés ou de polymères à chaine plus courte. Le résultat de la rupture d'une chaîne polymère est la formation de deux liaisons moléculaires insaturées. Ces segments de polymère avec une extrémité de la chaîne ouverte sont appelés radicaux. Ces radicaux sont très réactifs, car ils présentent une tendance marquée à fixer un atome ou un autre radical à leur liaison insaturée.
Habituellement les résultats de la dépolymérisation suite à un plasma basse pression sont des monomères gazeux ou des polymères courts volatiles qui peuvent être éliminés par la pompe à vide. C'est suivant ce principe général que les fines couches de pollution d'hydrocarbures sont éliminées par plasma à basse pression.