Le type le plus important de pompes à vide utilisé dans la technologie plasma basse pression. Une pompes à palette peut produire un vide de 10-3 mbar minimum, niveau de vide suffisant pour beaucoup de procédés plasma.
Pour atteindre un niveau de vide plus poussé, il est généralement atteint en deux étapes les pompes à palettes sont utilisés pour atteindre le premier niveau de vide (primaire-secondaire), elles ont supplées ensuite par d'autres pompes montées en série.
