La désignation 'Dry' que l'on traduit par 'voie sèche' dans ce cas, exprime le fait que le procédé chimique est effectué en l'absence de tout élément liquide. Alors qu'en général, les procédés chimiques nécessitent l'utilisation de substances liquides (solvants, acides, lessives).
Les traitements plasma sont des procédés technologiques secs 'dry'.
'Dryasher' : lyse chimique sèche, induit la transformation des longues chaines hydrocarbonées en plus petites molécules gazeuses, principalement pour les photo-résiste.
'Drycleaner' nettoyage sèc, ' Dryetcher' garavure sèche, 'Dryoven' séchage, four sec sont des expressions qui s'appliquent aux systèmes plasma basse pression.
La chimie sèche ne nécessite pas de substances liquides qui sont en général dangereuses pour les personnes et l'environnement.
Les processus chimiques à sec sont en général plus lents que les procédés liquides. D'un autre coté, les procédés plasma permettent une plus grande précision, mais aussi d'atteindre des zones internes dans les pièces qui ne seraient pas accessibles par d'autres méthodes tels que contre-dépouilles, cavités ou fentes étroites.