Les gaz inertes, également désignés par"gaz rares" sont l'Hélium, Néon, l'Argon, le Krypton, le Xénon et le Radon. Leur chimie est caractérisée par le fait, que le niveau d'énergie maximum de leurs atomes est complet en électrons. Ils n'ont donc aucune raison énergétique de réagir avec un autre atome ou une molécule parce qu'ils n'acceptent pas d'électrons de valence d'un partenaire de réaction potentiel. Les gaz inertes sont par conséquent toujours des gaz atomiques.
Les gaz inertes, lorsqu'ils sont utilisés dans des procédés plasma ne forment jamais des radicaux, mais toujours des ions. Parce que ceux-ci ne réagissent pas avec le substrat, aucune réaction chimique n'a lieu avec ces gaz. Cependant, ils ont une importance capitale pour le traitement plasma, car ils peuvent être utilisés lorsqu'une gravure ionique purement physique est requise. Ce processus de gravure est préféré lorsqu'une gravure anisotrope est souhaitée.
Dans le groupe des gaz inertes, seul l'Argon est utilisé par les technologies de traitement plasma. L'argon est un élément chimique très fréquent (il compose 0,93% de l'atmosphère globale), de ce fait, il est peu onéreux. Mais aussi, l'ion formé dans le plasma est assez lourd pour causer des effets significatifs dans la gravure physique. Le Néon est utilisé dans les lampes au néon en raison de son plasma jaune vif. Les gaz lourds tels que krypton et xénon sont très rares et par conséquent coûteux, le radon est quant à lui radioactif.
