Un microscope électronique utilise des électrons pour l'éclairage de l'objet.
Parce que la longueur d'onde du rayonnement électronique est jusqu'à 100'000 fois plus faible que la longueur d'onde de rayonnement visible, et que la résolution maximale d'un microscope dépend directement de la longueur d'onde, la résolution d'un microscope électronique peut être beaucoup plus élevée que celle d'un microscope optique.
Les structures peuvent être séparées par microscopie électronique lorsque la distance qui les sépare est aux alentours de 0,1 nm, tandis que la limite des microscopes optiques se situe aux environs de 200 nm.
Les échantillons de laboratoire destinés à une analyse par microscopie électronique subissent une nettoyage plasma pour être ultrapropres. Diener electronic fournit des systèmes plasma spéciaux Femto TER pour ce type d'application (voir ⇒ produits )
