La Chambre Tetra 5200 présente une capacité de 5,2 m3
Le Générateur (HF)
Le Générateur plasma permet de générer le plasma suivant des fréquences de l'ordre du kHz, MHz et GHz.
Le Groupe de Pompage (Pompe(s) à vide)
Le plus grand système plasma "Tetra 12600" qui présente une chambre de 12,6 m³ nécessite plusieurs pompes (Groupe de Pompage) très performantes (Haut débit) pour l'obtention du vide.
Dans un chambre de 2,8m³ telle que celle de la Tetra 2800, le plasma est généré par plusieurs générateurs travaillant en parallèle.
Les Eléments d'un Système Plasma Atmosphérique
Un système plasma atmosphérique type Plasmabeam PC avec un générateur haute tension, un contrôle par PC, le générateur plasma (Stylo) et le câble d'amené de l'électricité et du gaz.