'ESCA' est l'acronyme de 'Electron Spectroscopy for Chemical Analysis' : spectroscopie d'électron pour l'analyse chimique ou spectrométrie photoélectronique X.
Egalement désigné par 'EEI' acronyme de 'Induced Emission Electron' ou encore' ou 'XPS' acronyme de 'X-ray Photoelectron Spectroscopy'.
Procédé spectroscopique pour l'analyse des liaisons chimiques. Souvent appliqué dans l'analyse de surface des échantillons, par exemple pour déterminer le degré d'oxydation des matériaux en surface. Tous les éléments à l'exception de l'hydrogène et de l'hélium peuvent être analysés.