L'élément chimique Fluor porte le numéro atomique 9, il est de la famille des halogènes. Dans des conditions normales, il se présente sous forme de F2 un gaz très réactif. Suite à ce caractère particulièrement réactif, il n'est pas stable dans la nature, de sorte qu'il n'existe seulement sous forme de molécules combinés à d'autres éléments.
En raison de son caractère réactif de fluor est également très dangereux pour tout être vivant. Toutes les réactions avec fluor élémentaire sont rapides et spontanées.
Par ailleurs, tous les composés contenant du fluor sont très stables et non réactifs. Ainsi, les polymères contenant une grande quantité de fluor tel que le PTFE résistent contre presque toute attaque de solvants et acides. Aussi, les gaz fluorés tels que CF4 ou SF6 sont presque totalement inertes et donc très peu réactifs avec les autres espèces.
Comme le plasma est capable de provoquer des réactions de composés non réactifs fluorés, ces composés sont très importants pour les procédés plasma. Excités par le plasma, les molécules fluorées peuvent former des radicaux. Le plasma est en mesure de briser la liaison Carbone-Fluor. Suivant le bilan de cette réaction appliquée à CF4 et SF6 , ils sont des gaz de gravure par plasma très efficaces, en particulier appliquées à la gravure du silicium dont le résultat est la formation de SiF4.
Par un procédé de craquage basé sur l'action de radicaux fluorés, le PTFE peut être attaqué. Dans un plasma d'hydrogène, les radicaux réagissent pour former de l'acide fluorhydrique gazeux: HF. Ensuite, de nouvelles molécules peuvent être en mesure de créer une liaison avec les carbones insaturés du PTFE. Cette procédure est pour ainsi dire l'unique processus à même de modifier la surface du PTFE de façon à le rendre "collable" ou "enrobable".
Par ailleurs, les radicaux formés à partir des gaz de procédé fluorés, sont à même de se greffer en surface de polymères. Suivant ce principe, des revêtements, type PTFE, peuvent être obtenus. C'est ainsi qu'en appliquant cette méthode, l'application d'une surface fluorée à l'intérieur de conteneurs, peut les rendre imperméable à certains liquides agressifs.
