L'alimentation en précurseurs gazeux s'effectue depuis un réservoir de gaz (bouteille de gaz) ou, si les précurseurs sont liquides dans les conditions atmosphériques, à partir d'un évaporateur.
L'alimentation en gaz est contrôlée avec précision par un débitmètre à aiguille ou par débitmètre massique. L'alimentation en gaz doit être soigneusement contrôlée pour maintenir un plasma uniforme et avoir une concentration d'espèces actives appropriée au procédé.
