Systèmes plasma fonctionnant avec des générateurs dans une gamme de fréquences de plusieurs Giga Hertz. L'unique fréquence réservée suivant l'ISM,pour des applications techniques, est 2,45 GHz. Cette fréquence correspond à une longueur d'onde de plusieurs micromètres, à l'origine de sa dénomination de "rayonnement micro-onde", les générateurs "générateurs micro-ondes" et les systèmes plasma "système plasma micro-ondes". Par conséquent, systèmes plasma GHz et systèmes plasma micro-ondes sont synonymes.
D'autres systèmes couramment utilisés dans les technologies plasma sont RF (Radio Fréquence) - et LF (Basse Fréquence) - systèmes et des générateurs qui fonctionnent dans des gammes de respectivement de l'ordre du MHz et du kHz.
Le plasma miro-onde n'est généré par le biais d'électrodes mais par un magnétron positionné à l'extérieur du plasma.