En électronique "HF" signifie Haute fréquence, cet acronyme désigne un courant électrique ou un champ électrique ou magnétique alternatif à Haute Fréquence. Des champs électriques/électromagnétiques Hautes Fréquences sont appliqués pour générer un plasma à basse pression. L'emploi d'une haute tension n'est pas nécessaire pour générer un plasma par ce procédé. Aucun courant électrique n'est produit par cette méthode. Par conséquent, une énergie minimale est nécessaire et de ce fait, la température dans le plasma n'augmente que très légèrement.
Par conséquent, un plasma basse pression obtenu par un procédé HF est un plasma basse température dit "plasma froid", lequel peut ainsi être utilisé pour le traitement de substrats sensibles à la température tels que les plastiques.
Pour générer un plasma HF seule certaines fréquences officielles autorisées par l'ISM dans les domaines du kHz-, MHz et GHz peuvent être utilisées.
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