Un champ magnétique alternatif intense est généré dans un gaz par un courant haute fréquence. Le champ électromagnétique est suffisamment fort pour générer un courant dans certains gaz. Le gaz est transformé en un plasma intense, de haute densité.
Ce procédé est utilisé lorsque de fortes densités d'ions et d'électrons sont nécessaires.
Une application importante est la spectroscopie de masse pour l'analyse des gaz.
La température des gaz plasma dans ce type de système peut atteindre 6'000 à 10'000 °C.