Plasma Froid

Un plasma dans la nature (étoiles, éclairs) est habituellement relié avec des hautes températures. C'est aussi le cas des plasma produits par décharge dans un gaz où la haute température est causée par le passage d'une intensité de courant élevée.

Si un gaz est ionisé sous l'action d'une radiation électromagnétiques HF, le plasma obtenu est froid, la température ne va que très légèrement augmenter. Dans le cas où le plasma est obtenu par excitation HF (40 kHz - 13,56 MHz), il y a une différence entre la température des ions et celle des électrons. Étant en mesure de suivre la fréquence élevée du champ, les électrons présentent une température élevée, tandis que les ions beaucoup plus lourds restent immobiles (froids).

Excitation HF
Un plasma obtenu par une excitation HF n'induit pas de sollicitation thermique du substrat.