Dans les technologies du vide, la "Chambre" désigne la "chambre sous vide" ou "l'enceinte" close contenant un gaz de procédé sous basse pression.
Dans le cas de la technologie plasma, la chambre doit être onstruite à partir de matériaux qui n'affectent pas le procédé plasma. De ce fait, les chambres plasma doivent être fabriquées en acier inoxydable ou en quartz (aussi en Aluminium).
