Suivant les gaz de procédé utilisés et les réactions chimiques avec le substrat dues au plasma, un "nettoyage" des gaz en sortie peut s'avérer nécessaire.
Diener electronic fourni un équipement spécialement développé et breveté à cet effet.
Suivant les gaz de procédé utilisés et les réactions chimiques avec le substrat dues au plasma, un "nettoyage" des gaz en sortie peut s'avérer nécessaire.
Diener electronic fourni un équipement spécialement développé et breveté à cet effet.
