Tetrafluormethan

Tetrafluormethan CF₄ entspricht dem Methan-Molekül, bei dem alle 4 Wasserstoffbindungen durch Fluor ersetzt wurden. 
In Plasma-Prozessen häufig eingesetztes Prozessgas, insbesondere bei Ätzprozessen. Tetrafluormethan (CF₄, auch als Freon 14 bezeichnet) ist unter normalen Bedingungen völlig inert, bildet aber im Plasma freie Fluoratome und CF₂- und CF₃-Radikale. Diese haben eine sehr starke Ätzwirkung, z.B. auf Siliciumdioxid. Mischungen aus CF₄ und O₂ ätzen ca. 5 x schneller als reiner Sauerstoff.