Ein technisches Vakuum ist keinesfalls ein Materie-freier Raum, sondern ein Gasvolumen bei geringem Druck, dass gekennzeichnet ist durch große freie Weglängen der Materie-Teilchen bevor es zu Stößen mit anderen Teilchen kommt. Während bei Atmosphärendruck die mittlere freie Weglänge bis zum Stoß mit anderen Teilchen noch unterhalb von 1 µm liegt, beträgt sie im Feinvakuum unterhalb von 10-3 mbar mehr als 10 cm, was dann bedeutet, dass viele Teilchen innerhalb der Abmessungen einer Vakuumkammer keine Stöße erleiden.
Hierdurch können Aktive Spezies eines Niederdruckplasmas das Gesamtvolumen eines Rezipienten erfüllen, ohne dass es durch Stöße zur Neutralisation oder Rekombination kommt.
