Generatori RF
Campi di applicazione:
- Plasma a bassa pressione
- Riscaldamento RF
Generatore RF da 13,56 MHz, 300 W
- Potenza nominale RF: 300 watt
- Frequenza: 13,560 MHz ± 100 ppm
- Potenza di uscita RF regolabile: 0 - 300 watt, continua
- Può essere pulsata: Min. on-time: 5 μs
- Impedenza: 50 Ohm
- Stabilità RF: inferiore al 5% (a seconda del dispositivo di corrispondenza applicato)
- Protezione discrepanza installata (da circuito aperto a cortocircuito)
- Discrepanza massima senza riduzione di potenza: VSWR = 1,2
- RF commutabile a pieno carico
- Alimentazione di rete 88 - 264 V c.a. / 47 - 63 Hz
- Potenza assorbita: max. 580 watt
- Connessione di controllo remoto per: - RF On/Off - Impostazioni prestazioni RF (0...10 V = 0 ... 100%)
- - dispositivo di regolazione automatica
- - PC o controllo del sistema al plasma
- Uscita RF: connettore N
- Alimentazione di rete connettore del pannello ICE con filtro
- Peso: circa. 18 kg
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