Sistema Atto a basso costo

L'impianto da laboratorio al plasma ATTO da 10,5 litri con controllo semiautomatico viene impiegato prevalentemente nei seguenti settori:

  • analitica (SEM, TEM)
  • tecnica medica
  • sterilizzazione
  • ricerca e sviluppo
  • archeologia
  • tecnica tessile tecnica dei semiconduttori
  • tecnica delle materie plastiche

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Brochure Atto

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Caratteristiche tecnica: Plasma cleaner Atto con controllo manuale

Alloggiamento:

largh.  425 mm, alt. 275 mm, prof. 450 mm

Camera: vetro, Ø 211 mm, lungh 300 mm

Volume della camera: ca. 10,5 Litri

Alimentazione gas: 2 canali con valvola a spillo

Generatore: 40kHz/200W o 13,56 MHz/ 50W

Pompa da vuoto: Aspirazione: 2 m³/h

Sistema di caricamento: Vassoio 1 pz.

Sistema di controllo: manuale, tempo di processo regolato da temporizzatore analogico

Plasmaanlage Atto mit externer PC Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit externer PC-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz / 200 W oder 13,56 MHz / 50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows XP)

Low-cost Plasmaanlage Atto mit eingebauter PC-Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit eingebauter PC-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz/200 W oder 13,56 MHz/50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows XP)

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit eingebauter PCCE-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz / 200 W oder 13,56 MHz / 50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows CE)